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要曝光这样的芯片,必须采用一种特殊的光源,也就是极紫外光。
它的波长只有13.5纳米,是可见光波长的几十分之一。
换句话说就是波长越短,雕刻出来的电路越精细,芯片的制程也就越短。
极紫外光也是用于7nm、5nm、2nm以下先进制程的紫外线波长。
例如后世最尖端的荷兰阿斯麦光刻机。
它就是采用极紫外光,所以它能制造出每平方毫米可容纳3.33亿个晶体管的2nm芯片。
可总结来说,阿斯麦的这台高端光刻机是全球经济化的集大成产品。
它有超过10万个零部件,并且涉及到5000多个供应商。
其中光源设备来自丑国,镜头来自德意志蔡司,光学技术由霓虹提供,且都是最最尖端的技术。
比如高度精密的光学镜头,它是光刻机核心部件之一。
由德意志光学大师卡尔蔡司制造,号称宇宙中最光滑的人造物体,是衡量一个宇宙文明高度的标志。
说白了,可以把阿斯麦这台高端光刻机看成是集半个人类文明的科技结晶,至于为什么说是半个,因为少了华夏。
这也是为什么赵阳并没有直接拿出后世最前沿的光刻机出来。
毕竟路要一步步走,饭要一口口吃,稳扎稳打才能走的更远!
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“这部位零件叫恒温加热台,主要负责光刻工艺中的前烘和后烘。”
“这台部件叫蚀刻机,光刻机把图案印上去,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分,就形成了集成电路。”
赵阳主要是说给非半导体领域的专家院士听,给他们介绍一下,以后还要协助合作呢。
“这部位叫匀胶机,主要用作光刻胶涂敷,其实就是一个可以控制转速的平台,把硅片吸附在中间那个平台上,滴上光刻胶,高速旋转甩开就可以了。”
“这个叫掩模版,光刻的精度就是取决于它,掩模上的图案也决定了芯片的电路结构和功能,掩模的制造也十分复杂,不过半自动化下,良品率能有七层,还算不错。”
“这是汞灯,这是定时曝光系统、这是载片台、这是显微镜、冷却系统(液氮)、配套甩胶机、透镜组、光刻胶、显影液、烘胶台、配套清洗间、废液废气处理回收系统、黄光灯管....”
赵阳在给大家伙大致的讲解了这台光刻机的情况后,跟着又道:“这台光刻机是半自动操作,需要技术人员配合进行,下面我将实操生产一枚芯片,请大家集中注意力观看!”
光刻机根据不同的发展阶段也分为手动、半自动、全自动。
手动光刻机指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的x轴,y轴和t角度来完成对准,对准精度可想而知不高了。
半自动光刻机指的是对准可以通过电动轴根据CCd进行定位调谐,相比手动,精度得到了大幅度提升。
自动光刻机指的是从基板的上载下载,曝光时长和循环都是通过程序控制,其执行精度毫无疑问远超前两者。
赵阳拿出的这台光刻机是属于半自动的。
虽说第四代计算机也拿出来了,
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